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Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE

简要描述：Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE特点：
&amp;#183;适用6寸以下样品的处理

&amp;#183;用于塑胶材料表面的处理

&amp;#183;配置自动/手动模式，实现控制高机能

&amp;#183;桌上型，省空间

&amp;#183;适合于研究院、高校、研发中心使用

所在城市：上海市
厂商性质：代理商
更新日期：2024-12-02
访问量：2055

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详细介绍

品牌	其他品牌	价格区间	面议
产地类别	国产	应用领域	医疗卫生,环保,生物产业,农林牧渔

Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE

特点：

·适用6寸以下样品的处理

·用于塑胶材料表面的处理

·配置自动/手动模式，实现控制高机能

·桌上型，省空间

·适合于研究院、高校、研发中心使用

用途：

·表面清洗活化

·表面蚀刻

Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE规格

型号	FEMTO RIE(防腐)*1	FEMTO RIE(防腐)*1
控制方式	按键操作控制	Windows CE 7”触摸屏操作控制
操作方式	手动	手动/自动
程序存储	—	50组
工艺过程监控	—	二维折线图与数字实时显示
程序偏离值	—	抽真空时间、进气量偏差值，实际功率输出
报错功能	—	显示详细的报错信息
数据导入导出	—	USB
选程控制	—	选配
工艺气路	单路，双路，三路
工艺气体	O2，Ar，N2，CO2，H2（CF4,SF6，NH3）*1
流量计	针阀流量计（可选防腐针阀流量计）*1	MFC流量计（可选防腐MFC流量计）*1
冲洗气路	一路
泄气气路	一路
真空计	指针式/0-10mbar	数字式/0-9.99mbar
计时器	0~999.9H
真空腔体	不锈钢圆形腔体盖子门带观察窗尺寸Φ190mm x H60mm 容积1.7L
电极	不锈钢气浴RIE电极， Φ160mm
发生器	40 kHz 0-100W ,100 kHz 0-500W, 13.56 MHz 0-300W
外形尺寸（WxDxH）	560 x 600 x 860mm
电源	AC230 V / 16 A
华体会htl	排气速度不小于4m3/H, 极限真空度小于10Pa
选配功能	托盘冷却,腔体温度监控,冷水纲

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Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE

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